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物質(zhì)從能量較低的聚合態(tài)轉(zhuǎn)為能量較高的聚集態(tài)將要從外界供給能量（如加溫等），從固體轉(zhuǎn)化為液體或從液體轉(zhuǎn)化為氣體時(shí)每個(gè)粒子需要0.01eV（1eV=1.6022×10-19焦耳）的能量，當(dāng)氣體進(jìn)一步從外界吸收能量，分子熱運(yùn)動(dòng)進(jìn)一步加劇，分子離解為原子，原子中的電子獲得足夠的能量脫離電子，成為自由電子。氣體被電離，被電離的氣體中含有大量的電子、離子以及部分中性粒子（原子和分子），其中電子和離子的電荷數(shù)差不多相等，宏觀上或平均意義上它是電中性的。（從普通氣體轉(zhuǎn)化為等離子體，每個(gè)粒子需要1～30eV的能量，可見(jiàn)等離子體是物質(zhì)中能量較高的物質(zhì)聚集態(tài)，因此其中的粒子具有較高的活性。

觸摸屏操作界面

數(shù)字及圖標(biāo)多重工藝參數(shù)實(shí)時(shí)顯示

整體小巧便于移動(dòng)

自動(dòng)/手動(dòng)操作模式切換

可存儲(chǔ)多套工藝配方

用于不同材料的表面處理

適合于研究所、大學(xué)院校、研發(fā)中心使用