- 觸摸屏操作界面 數(shù)字及圖標(biāo)多重工藝參數(shù)實(shí)時(shí)顯示 蜂鳴器+紅色指示燈報(bào)警功能 自動(dòng)/手動(dòng)操作模式切換 可存儲(chǔ)多套工藝配方
等離子清洗機(jī)(plasma cleaner)也叫等離子清潔機(jī)，或者等離子表面處理儀，是一種全新的高科技技術(shù)，利用等離子體來(lái)達(dá)到常規(guī)清洗方法無(wú)法達(dá)到的效果。等離子體是物質(zhì)的一種狀態(tài)，也叫做物質(zhì)的第四態(tài)，并不屬于常見(jiàn)的固液氣三態(tài)。對(duì)氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。等離子體的“活性”組分包括：離子、電子、原子、活性基團(tuán)、激發(fā)態(tài)的核素（亞穩(wěn)態(tài)）、光子等。等離子清潔機(jī)就是通過(guò)利用這些活性組分的性質(zhì)來(lái)處理樣品表面，從而實(shí)現(xiàn)清潔、涂覆等目的。
觸摸屏操作界面
數(shù)字及圖標(biāo)多重工藝參數(shù)實(shí)時(shí)顯示
蜂鳴器+紅色指示燈報(bào)警功能
自動(dòng)/手動(dòng)操作模式切換
可存儲(chǔ)多套工藝配方
用于不同材料的表面處理
適合于研究所、大學(xué)院校、研發(fā)中心使用
型號(hào) | PM-T5LN01 | PR-T5LN01 | |
控制系統(tǒng) | 控制方式 | 全自動(dòng)控制（自動(dòng)/手動(dòng)切換） | |
PLC | |||
操作系統(tǒng) | Windows 10 | ||
觸摸屏 | 7寸 | ||
整機(jī)規(guī)格 | 尺寸 | W460×D494×H734mm | |
腔體 | 尺寸 | Φ160×D250mm | |
材質(zhì) | 316不銹鋼（標(biāo)配）/鋁合金（可選） | ||
電極 | 尺寸 | W100×D200mm | |
層數(shù) | 1-2層，可選 | ||
托架 | 材質(zhì) | 需定制 | |
層數(shù) | 1層 | ||
真空計(jì) | 皮拉尼式真空計(jì) | 1個(gè) | |
流量計(jì) | MFC+浮子流量計(jì) | 1路MFC，1路浮子流量計(jì)；Ar、N2、O2（可選） | |
真空泵 | 機(jī)械油式旋片泵 | 1套 | |
發(fā)生器 | 中頻/射頻 | 40KHz，0~500W | 13.56MHz，0~150W |
額定功率 | 整機(jī)峰值功率 | 2KW | |
機(jī)臺(tái)供電 | 單相三線(xiàn)式 | AC-220V | |
選購(gòu)品 | 干式泵、氣浴電極（打孔）、托架、接枝氣化儀、防腐密封、腔體加熱、加熱盤(pán)、溫度傳感器、H2安全閥、慢速泄氣閥、慢速抽氣閥、鋼瓶減壓閥、水冷電極、冰水機(jī)、模溫機(jī)、非標(biāo)法蘭、陶瓷緊固件 | ||
