通過各種等離子體處理使本產(chǎn)品變色區(qū)產(chǎn)生顏色變化，在想要確認(rèn)等離子體處理效果的部位設(shè)置該指示卡，可以不利用電、光學(xué)測量裝置的情況下確認(rèn)等離子體處理效果。

A型共3個(gè)型號(hào)：A1型（高敏感度）、A2型（中敏感度）、A3型（低敏感度）

【反應(yīng)原理】

本產(chǎn)品的變色區(qū)印刷的色素與各種等離子體反應(yīng)，根據(jù)處理時(shí)間、功率、工藝氣體種類和氣體流量等參數(shù)的不同會(huì)產(chǎn)生不同程度的顏色變化。

是指使用了根據(jù)等離子體中的活性種（自由基、離子）變色的功能性色料的評(píng)價(jià)工具。根據(jù)等離子體的強(qiáng)度會(huì)產(chǎn)生不同的顏色變化，可以很直觀的對(duì)等離子體處理效果進(jìn)行細(xì)致的評(píng)價(jià)。

【使用方法】

1.將本產(chǎn)品從包裝袋中取出，盡量避免觸摸變色區(qū)，因?yàn)樽兩珔^(qū)不耐擦傷，否則會(huì)影響變色效果，每次取完指示卡后隨即將鋁箔袋封好，以免剩余指示卡受到環(huán)境影響；

2.安裝指示卡時(shí)，請(qǐng)根據(jù)需要使用指示卡自帶背膠或其他夾具固定；

3.等離子體處理完成后從裝置中取出指示卡時(shí)，請(qǐng)勿觸摸變色區(qū)，以免在確認(rèn)指示卡顏色變化程度時(shí)受到影響；

【儲(chǔ)存方法】

1.本產(chǎn)品應(yīng)避免陽光直射，在高溫潮濕的場所應(yīng)以未開封或密封再包裝的狀態(tài)下保存；

2.請(qǐng)于強(qiáng)酸、強(qiáng)堿、氧化、還原劑和其他反應(yīng)性物質(zhì)隔離保管。

根據(jù)目的和用途的不同配置相應(yīng)型號(hào)的指示卡：

真空等離子體處理系統(tǒng)用高溫、低溫不同敏感度的產(chǎn)品；

大氣等離子體處理系統(tǒng)用不同速度、不同敏感度的產(chǎn)品；

針對(duì)晶圓等離子體處理用的“晶圓型”產(chǎn)品。