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中大型工業(yè)等離子清洗機

中型料盒式等離子清洗機PM/R-110L 半導(dǎo)體表面處理系統(tǒng)
產(chǎn)品描述
  • 中型料盒式等離子清洗機:主要用于半導(dǎo)體行業(yè),解決芯片、晶圓等產(chǎn)品表面處理難題,從去除氧化物、粘接等多個角度提供表面處理。
工作原理

等離子清洗機(plasma cleaner)也叫等離子清潔機,或者等離子表面處理儀,是一種全新的高科技技術(shù),利用等離子體來達到常規(guī)清洗方法無法達到的效果。等離子體是物質(zhì)的一種狀態(tài),也叫做物質(zhì)的第四態(tài),并不屬于常見的固液氣三態(tài)。對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。等離子體的“活性”組分包括:離子、電子、原子、活性基團、激發(fā)態(tài)的核素(亞穩(wěn)態(tài))、光子等。等離子清潔機就是通過利用這些活性組分的性質(zhì)來處理樣品表面,從而實現(xiàn)清潔、涂覆等目的。

產(chǎn)品特點

觸摸屏操作界面

數(shù)字及圖標多重工藝參數(shù)實時顯示

三色燈異常報警功能

自動/手動操作模式切換

可存儲多套工藝配方

遠程操控,數(shù)據(jù)導(dǎo)出(可選)

模塊多樣化選擇,多層托架可選,處理量大

應(yīng)用領(lǐng)域

v不分處理對象的基材類型,對金屬、半導(dǎo)體、氧化物和大多數(shù)高分子材料,如聚丙烯、聚脂、聚酰亞胺、聚氯乙烷、環(huán)氧、甚至聚四氟乙烯等都能很好地處理。

產(chǎn)品參數(shù)

型號

PM-110L

PR-110L

控制系統(tǒng)

控制方式

全自動控制(自動/手動切換)



PLC(標配)/PC(可選)


操作系統(tǒng)

Windows 10


觸摸屏

7寸

整機規(guī)格

尺寸

W1000×D1200×H1700mm

腔體

尺寸

 W500×D500×H450mm


材質(zhì)

鋁合金(標配)/不銹鋼(可選)

電極

尺寸

W490×D417mm


層數(shù)

1-8層,可選

托架

材質(zhì)

鋁合金(標配)/不銹鋼(可選)


層數(shù)

1層

真空計

皮拉尼式真空計

1個

流量計

MFC質(zhì)量流量控制器

2個;Ar、N2、O2(可選)

真空泵

機械油式旋片泵

1套

發(fā)生器

中頻/射頻

40KHz,0~1000W

13.56MHz,0~1000W

額定功率

整機峰值功率

5KW

機臺供電

三相五線式

AC-380V

選購品

干式泵、氣浴電極(打孔)、托架、接枝氣化儀、防腐密封、腔體加熱、加熱盤、溫度傳感器、H2安全閥、慢速泄氣閥、慢速抽氣閥、鋼瓶減壓閥、水冷電極、冰水機、模溫機、非標法蘭、陶瓷緊固件


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