等離子清洗機(plasma cleaner)也叫等離子清潔機,或者等離子表面處理儀,是一種全新的高科技技術(shù),利用等離子體來達到常規(guī)清洗方法無法達到的效果。等離子體是物質(zhì)的一種狀態(tài),也叫做物質(zhì)的第四態(tài),并不屬于常見的固液氣三態(tài)。對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。等離子體的“活性”組分包括:離子、電子、原子、活性基團、激發(fā)態(tài)的核素(亞穩(wěn)態(tài))、光子等。等離子清潔機就是通過利用這些活性組分的性質(zhì)來處理樣品表面,從而實現(xiàn)清潔、涂覆等目的。
觸摸屏操作界面
數(shù)字及圖標多重工藝參數(shù)實時顯示
三色燈異常報警功能
自動/手動操作模式切換
可存儲多套工藝配方
遠程操控,數(shù)據(jù)導(dǎo)出(可選)
模塊多樣化選擇,多層托架可選,處理量大
v不分處理對象的基材類型,對金屬、半導(dǎo)體、氧化物和大多數(shù)高分子材料,如聚丙烯、聚脂、聚酰亞胺、聚氯乙烷、環(huán)氧、甚至聚四氟乙烯等都能很好地處理。
型號 | PM-110L | PR-110L | |
控制系統(tǒng) | 控制方式 | 全自動控制(自動/手動切換) | |
PLC(標配)/PC(可選) | |||
操作系統(tǒng) | Windows 10 | ||
觸摸屏 | 7寸 | ||
整機規(guī)格 | 尺寸 | W1000×D1200×H1700mm | |
腔體 | 尺寸 | W500×D500×H450mm | |
材質(zhì) | 鋁合金(標配)/不銹鋼(可選) | ||
電極 | 尺寸 | W490×D417mm | |
層數(shù) | 1-8層,可選 | ||
托架 | 材質(zhì) | 鋁合金(標配)/不銹鋼(可選) | |
層數(shù) | 1層 | ||
真空計 | 皮拉尼式真空計 | 1個 | |
流量計 | MFC質(zhì)量流量控制器 | 2個;Ar、N2、O2(可選) | |
真空泵 | 機械油式旋片泵 | 1套 | |
發(fā)生器 | 中頻/射頻 | 40KHz,0~1000W | 13.56MHz,0~1000W |
額定功率 | 整機峰值功率 | 5KW | |
機臺供電 | 三相五線式 | AC-380V | |
選購品 | 干式泵、氣浴電極(打孔)、托架、接枝氣化儀、防腐密封、腔體加熱、加熱盤、溫度傳感器、H2安全閥、慢速泄氣閥、慢速抽氣閥、鋼瓶減壓閥、水冷電極、冰水機、模溫機、非標法蘭、陶瓷緊固件 |